[发明专利]三轴差分加速度计及其制作方法

摘要

本发明涉及一种三轴差分加速度计及其制作方法，该三轴差分加速度计是通过两个硅晶片生成各必需的结构层，然后再键合相连而集成在一起，具有灵敏度高、性能良好的优点，且其制作方法也简单方便。

主权项

一种三轴差分加速度计，其特征在于：所述三轴差分加速度计包括：第一硅基底；质量块，其通过与弹性元件相连而悬置于第一硅基底之上，且平行于第一硅基底以及被弹性元件支承在平行于第一硅基底的方向上运动，所述弹性元件与第一硅基底固定连接；第一动电极，其由质量块周边延伸而出、呈梳齿状，分布于平行质量块、且相互垂直的第一轴方向和第二轴方向上，第一轴方向上的第一动电极相互平行，第二轴方向上的第一动电极相互平行；第一固定块，其环绕第一动电极四周、并固定连接在第一硅基底上；第一静电极，其由第一固定块延伸而出、呈梳齿状，每一第一静电极介于相邻的第一动电极之间，与第一动电极平行相对；第二硅基底；第二静电极，其固定于第二硅基底上；第二动电极，其与第二静电极平行相对，且间隔一定距离；第二固定框架，设有与第二动电极相连，以将第二动电动悬置于第二固定框架内的中间肋条；绝缘层，其在垂直于第一轴方向和第二轴方向的第三轴方向上、位于第一固定块和第二固定框架之间；第一固定块与第二固定框架均与绝缘层相连，且第二动电极与质量块平行相对且间隔一定距离。