[发明专利]玻璃基板蚀刻液及其制备方法有效
| 申请号： | 201010178683.1 | 申请日： | 2010-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN101838111A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 合肥茂丰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种玻璃基板蚀刻液及其制备方法。该蚀刻液是由氟化铵、强酸、水和氨基三乙酸组成。所述氟化铵、强酸和氨基三乙酸占所述蚀刻液总重的百分比分别为：5-20％、20-60％和1-8％；余量为水。该蚀刻液安全、稳定、高效，成本低，能够很好的解决蚀刻过程中产生的难溶性副产物问题，同时也提高了蚀刻速率和蚀刻效果，适当降低环境污染。该蚀刻液适用于TFT玻璃基板、液晶显示(LCD)用玻璃基板、触摸屏(TP)显示用玻璃基板、等离子体(PDP)显示用玻璃基板及有机电致发光(OLED)显示用玻璃基板的减薄。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃蚀刻液，是由氟化铵、强酸、水和氨基三乙酸组成。
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