[发明专利]玻璃基板蚀刻液及其制备方法有效
| 申请号： | 201010178683.1 | 申请日： | 2010-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN101838111A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 合肥茂丰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
1.一种玻璃蚀刻液，是由氟化铵、强酸、水和氨基三乙酸组成。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于：所述氟化铵、强酸和氨基三乙酸占所述蚀刻液总重的百分比分别为：5-20％、20-60％和1-8％；余量为水。
3.根据权利要求1或2所述的蚀刻液，其特征在于：所述氟化铵的结构式为NH4F。
4.根据权利要求1-3任一所述的蚀刻液，其特征在于：所述强酸选自硫酸和硝酸中的至少一种；
所述强酸为硫酸和硝酸的混合物时，硫酸和硝酸的重量份数比为25-40∶10-35。
5.根据权利要求1-4任一所述的蚀刻液，其特征在于：所述玻璃蚀刻液是按照权利要求6-9任一所述方法制备而得。
6.一种制备权利要求1-5任一所述玻璃蚀刻液的方法，是将氟化铵、强酸、水和氨基三乙酸在20～30℃混匀，得到所述玻璃蚀刻液。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于：所述氟化铵、强酸和氨基三乙酸占所述蚀刻液总重的百分比分别为：5-20％、20-60％和1-8％；余量为水。
8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于：其特征在于：所述氟化铵的结构式为NH4F。
9.根据权利要求6-8任一所述的方法，其特征在于：所述强酸选自硫酸和硝酸中的至少一种；
所述强酸为硫酸和硝酸的混合物时，硫酸和硝酸的重量份数比为25-40∶10-35。
10.权利要求1-5任一所述玻璃蚀刻液在制备平板玻璃基板减薄用蚀刻液中的应用。
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