[发明专利]一种有源矩阵有机发光显示器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种有源矩阵有机发光显示器及其制造方法，尤其涉及一种微晶硅和多晶硅共用的显示面板及其制造方法。本发明技术方案通过制作微晶硅层和局域激光结晶化的方式，在像素内开关区域中获得具有高载流子迁移率的多晶硅开关薄膜晶体管，在驱动区域中获得具有良好一致性的微晶硅驱动薄膜晶体管，从而实现有源矩阵有机发光显示器整体性能的提高。

主权项

一种有源矩阵有机发光显示器的制造方法，所述有源矩阵有机发光显示器包括：一基板；以及配置在该基板上的多个像素，呈矩阵排列；多条数据线，平行配置于像素之间；多条扫描线，平行配置于像素之间且与数据线垂直；所述像素的像素区域内具有一开关区域和一驱动区域，所述开关区域内具有开关薄膜晶体管，所述驱动区域内具有驱动薄膜晶体管，所述制造方法包括以下步骤：在所述基板上设置一微晶硅层，其中包含所述开关区域和驱动区域；将所述开关区域的所述微晶硅层进行再处理，形成多晶硅层；在所述开关区域的所述多晶硅层上制作开关薄膜晶体管，在所述驱动区域的所述微晶硅层上制作驱动薄膜晶体管。