[发明专利]对准标记测量信号处理方法有效
| 申请号： | 201010177516.5 | 申请日： | 2010-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102253609A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李运锋;赵新;韩悦;韦学志 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种对准标记测量信号处理方法，在对对准信号进行采样后利用拟合模型进行信号拟合求解出最佳对准位置，利用光强采样和位置采样获得的结果进行模型拟合，在拟合模型参数的同时对信号的周期进行拟合，从而确定信号的相位，最终求解确定最佳对准位置。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 测量 信号 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种对准标记测量信号处理方法，其特征在于在利用对准系统对对准信号进行采样后利用下述拟合模型进行信号拟合求解出最佳对准位置：![]()
式中，I为光强，x为位置，a0，a1，Λ，ai、b0，b1，Λ，bj为模型系数，i，j为非负的整数，![]()
为相位，P为信号的周期；利用光强和位置采样，进行数值求解后确定模型系数a0，a1，Λ，ai与b0，b1，Λ，bj、信号周期P和相位![]()
的值。
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