[发明专利]可堆栈式封装结构的制造方法有效
申请号: | 201010119472.0 | 申请日: | 2010-02-08 |
公开(公告)号: | CN102148167A | 公开(公告)日: | 2011-08-10 |
发明(设计)人: | 余国宠;王盟仁 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60;H01L23/485;H01L23/488;H01L25/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆勍 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明关于一种可堆栈式封装结构的制造方法。该制造方法包括以下步骤:(a)提供一第一载体;(b)设置至少一芯片于该第一载体上;(c)形成一封胶体以包覆该芯片;(d)移除该第一载体;(e)形成一第一重布层及至少一第一凸块;(f)提供一第二载体;(g)设置于该第二载体;(h)移除部分该芯片及部分该封胶体;(i)形成一第二重布层;及(j)移除该第二载体。藉此,该第二重布层使该可堆栈式封装结构在应用上有较多弹性。 | ||
搜索关键词: | 堆栈 封装 结构 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种可堆栈式封装结构的制造方法,包括:(a)提供一第一载体,该第一载体具有一表面;(b)设置至少一芯片于该第一载体的表面,该芯片包括一第一表面、一第二表面、一主动线路层及至少一导电孔,该主动线路层位于该芯片内,且显露于该第二表面,该导电孔位于该芯片内,且连接至该主动线路层;(c)形成一封胶体于该第一载体的表面,以包覆该芯片,该封胶体包括一表面,该表面附着于该第一载体的表面;(d)移除该第一载体,以显露该芯片的第二表面及该封胶体的表面;(e)形成一第一重布层及至少一第一凸块,该第一重布层位于该芯片的第二表面及该封胶体的表面,且通过该主动线路层电性连接至该导电孔,该第一凸块位于该第一重布层上,且通过该第一重布层电性连接至该主动线路层及该导电孔;(f)提供一第二载体;(g)将该第一重布层的一表面设置于该第二载体;(h)移除部分该芯片及部分该封胶体,以显露该导电孔于该芯片的第一表面,而形成一穿导孔;(i)形成一第二重布层于该芯片的第一表面,且电性连接至该穿导孔;及(j)移除该第二载体。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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