[发明专利]一种MEMS光谱仪运动补偿系统及方法有效
| 申请号： | 201010114598.9 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN101806621A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 龙涛;唐明;严松 | 申请（专利权）人： | 江苏惠通集团有限责任公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212003 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS光谱仪运动补偿系统及方法，该系统包括MEMS光学器件、运动信号传感器、运动信号放大器、运动信号AD转换器、运动补偿控制处理器、MEMS器件驱动DA转换器、MEMS器件驱动放大器、温度传感器，各部分组成闭环控制系统。运动补偿方法包括以下步骤：1)编制标准运动轨迹数据表；2)编制运动补偿信号数据表；3)启动光谱仪；4)检测MEMS光学器件运动轨迹；5)和标准的运动轨迹进行比较判断是否正常；6)若正常则回到步骤4)；7)若不正常，查询运动补偿信号数据表，调节驱动信号。本发明解决了MEMS光谱仪温度稳定性、耐振动性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 光谱仪 运动 补偿 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS光谱仪运动补偿系统，包括MEMS光学器件(1)，其特征在于，还包括运动信号传感器(2)、运动信号放大器(3)、运动信号AD转换器(4)、运动补偿控制处理器(5)、MEMS器件驱动DA转换器(6)、MEMS器件驱动放大器(7)、温度传感器(8)；运动信号传感器(2)采集MEMS光学器件(1)的运动信号，并与运动信号放大器(3)连接，运动信号放大器(3)与运动信号AD转换器(4)连接，运动信号AD转换器(4)与运动补偿控制处理器(5)连接，运动补偿控制处理器(5)与MEMS器件驱动DA转换器(6)连接，MEMS器件驱动DA转换器(6)与MEMS器件驱动放大器(7)连接，MEMS器件驱动放大器(7)与MEMS光学器件(1)连接，驱动MEMS光学器件(1)；所述温度传感器(8)与运动补偿控制处理器(5)相连。
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