[发明专利]用于制造超声换能器和其他部件的方法

摘要

本发明在于制造电子部件诸如超声换能器的方法。具体而言，本发明提供，例如，在超声换能器与电路的连接中，的图案化电极的方法；在表面上沉积金属的方法；以及对于超声换能器制造集成匹配层的方法。本发明还在于通过此处所述的方法制造的超声换能器。

主权项

用于制造呈一个图案的电极的方法，所述方法包括如下步骤：(a)提供一个电气部件，其包括多个第一电极；(b)将包括多个第二电极的连接器放置在所述电气部件附近；(c)将包括基质材料和颗粒材料的复合介质材料沉积在所述多个第一电极和所述多个第二电极上，其中所述基质材料相比于所述颗粒材料在较低能量密度下被激光烧蚀；(d)将所述复合介质材料的至少一部分激光烧蚀以去除基质材料并增加所述复合介质材料的表面积；将所述复合介质材料激光烧蚀以暴露所述多个第一电极和所述多个第二电极；以及在所述复合介质材料中从所述多个第一电极中的每一个电极到所述多个第二电极中的相应电极激光烧蚀一个沟；(e)在步骤(d)中烧蚀的区域上沉积导电金属；(f)在所述导电金属上沉积抗蚀剂，其中与其他烧蚀区域相比，所述抗蚀剂在所述多个第一电极、多个第二电极以及所述沟上更厚；以及(g)去除所述抗蚀剂的一部分使得以呈一个负的图案来暴露所述导电金属并蚀刻所述导电金属的暴露部分以制造呈所述图案的电极。