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- [发明专利]低成本微凸点的制备工艺-CN201510307304.7在审
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何洪文;曹立强
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华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
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2015-06-05
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2015-09-09
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H01L21/64
- 本发明涉及一种低成本微凸点的制备工艺,其特征是:将钎料和环氧树脂或硅胶等材料充分混合,制备成混合材料,然后直接在制备好的铜焊盘上涂覆。通过加热工艺,钎料会在熔融状态下与环氧树脂或硅胶等材料分离,沉积在铜焊盘上,形成凸点。然后通过化学腐蚀的方法去除环氧树脂或硅胶材料,得到所需要的微凸点。本发明最大的优势在于将钎料与环氧树脂或硅胶材料直接混合,直接涂覆在晶圆级铜焊盘表面,从而避开电镀工艺带来的高成本工序,有效的达到了节约成本的目的。而且,通过钎料与环氧树脂或硅胶的混合工艺,可制备不同成分的微凸点,甚至可添加微量元素形成特定需求的微凸点。微凸点的大小和间距取决于铜焊盘的尺寸和间距。
- 低成本微凸点制备工艺
- [发明专利]产生二维或三维导电或半导电结构的方法,擦除该结构的方法及产生上述电路结构所用的电场发生器/调制器-CN99804437.7无效
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P·-E·诺尔达尔;G·I·莱斯塔德;H·G·古德森
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薄膜电子有限公司
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1999-01-28
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2001-05-09
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H01L21/64
- 在一种在复合基体中产生二维或三维导电或半导电结构的方法中,其中的基体是由两种或多种空间上隔开的材料构成的,一电场施加到各个材料上,或者电场是根据一协议而空间场调制的,上述协议代表使上述材料结构响应于所述电场所产生的预定导电或半导电结构的图案。所述材料结构组成的基体因此包括这种三维结构。在一种全面擦除的方法中,对基体施加一电场,直到基体中的材料响应于电场全部到达非导电态。在能构图或产生导电或半导电结构的电场发生器/调制器(EFGM)中,两个电极装置(E1,E2)包括在平行的平面内相互间隔开提供的平行条形(21,22),由此形成矩阵状结构。电极装置(E1,E2)是连接到电源(23)的过交连器件(24,25)。EFGM(20)适于在电极器件(E1,E2)中间接收薄膜材料以便产生所述结构。
- 产生二维三维导电结构方法擦除上述电路所用电场发生器调制器
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