[发明专利]蓝宝石单晶的制造方法无效
申请号: | 200980143044.7 | 申请日: | 2009-12-16 |
公开(公告)号: | CN102197167A | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
发明(设计)人: | 庄内智博 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/00 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 段承恩;杨光军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明实施下述工序:熔融工序,该工序使置于室内的坩埚中的氧化铝熔融,得到氧化铝熔液;肩部形成工序,该工序通过提拉与氧化铝熔液接触的晶种,在晶种的下方形成肩部;和直体部形成工序,该工序在向室内供给含有氧和惰性气体并且氧的浓度被设定为0.6体积%以上且3.0体积%以下的混合气体的同时,从熔液提拉蓝宝石单晶,形成直体部。由此,在从氧化铝的熔液结晶生长蓝宝石单晶时,更加抑制气泡向蓝宝石单晶中的混入。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石单晶的制造方法,其特征在于,具有:熔融工序,该工序使置于室内的坩埚中的氧化铝熔融,得到该氧化铝的熔液;和生长工序,该工序向所述室内供给含有氧和惰性气体并且该氧的浓度被设定为0.6体积%以上且3.0体积%以下的混合气体,并且从所述熔液提拉蓝宝石单晶使其生长。
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