[发明专利]具微筛孔网屏的紫外线传送微波反射器无效
| 申请号： | 200980142444.6 | 申请日： | 2009-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN102197466A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | T·A·恩古耶;Y-H·杨;S·巴录佳;T·诺瓦克;J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/324 | 分类号： | H01L21/324;H01L21/205;H01L21/203 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于一基板处理室的紫外线传送微波反射器包含一延伸于金属框架上的微筛孔网屏。在一个版本中，该微筛孔网屏包含至少一个电铸成形层。一种制造该微波反射器的方法包含电铸成形一围绕一微筛孔网屏的金属框架并使得该微筛孔网屏包含一大于总面积的80％的开口面积。 | ||
| 搜索关键词： | 具微筛孔网屏 紫外线 传送 微波 反射 | ||
【主权项】：
一种用于一基板处理室的紫外线传送微波反射器，该反射器包含：(a)一金属框架；(b)一微筛孔网屏，其延伸于该金属框架上，该微筛孔网屏包含一或多个电铸成形层。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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