[发明专利]封装装置、MEMS以及用于选择性封装的方法无效
| 申请号： | 200980129422.6 | 申请日： | 2009-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN102105390A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | P.罗塔彻尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01P1/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李永波;梁冰 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及在半导体基底（2）上的敏感的构件结构（3）的封装装置（4），包括遮盖所述构件结构（3）的薄膜（5）。按照本发明规定，在所述薄膜（5）内设置了用于所述构件结构（3）的型腔（8）。本发明还涉及MEMS（1）以及用于封装敏感的构件结构（3）的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 封装 装置 mems 以及 用于 选择性 方法 | ||
【主权项】：
在半导体基底（2）上的敏感的构件结构（3）的封装装置，包括遮盖所述构件结构（3）的薄膜（5），其特征在于，在所述薄膜（5）内设置了用于所述构件结构（3）的型腔（8）。
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