[发明专利]工件传送系统和方法有效
申请号: | 200980124943.2 | 申请日: | 2009-06-30 |
公开(公告)号: | CN102099907A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | P·戴尔蒙德 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱发科 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 茅翊忞 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种双自动机械传送系统,包括:用于将工件传送入处理模块和从处理模块传送出的传送模块;在传送模块与供给-接受系统之间的物理接口;大致位于传送模块内用于将工件传送到处理模块和位于传送模块内的缓冲工位并从处理模块和位于传送模块内的缓冲工位传送工件的第一自动机械,第一自动机械包括第一顶臂和第一底臂,第一顶臂和第一底臂大致具有第一移动范围;以及大致位于传送模块内用于将工件传送到处理模块、缓冲工位以及物理接口并从处理模块、缓冲工位以及物理接口传送工件的第二自动机械,第二自动机械包括第二顶臂和第二底臂,第二顶臂和第二底臂大致具有第二移动范围,第二移动范围部分地与第一移动范围重叠。 | ||
搜索关键词: | 工件 传送 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种与供给‑接受系统和处理模块一起使用的双自动机械传送系统,所述双自动机械传送系统包括:传送模块,所述传送模块用于将工件传送入和传送出所述处理模块;物理接口,所述物理接口在所述传送模块与所述供给‑接受系统之间,所述供给‑接受系统将未处理工件供给到所述传送模块并从所述传送模块接受已处理工件;第一自动机械,所述第一自动机械大致位于所述传送模块内用于将工件传送到所述处理模块和位于所述传送模块内的缓冲工位并从所述处理模块和位于所述传送模块内的缓冲工位传送工件,所述第一自动机械包括第一顶臂和第一底臂,所述第一顶臂和第一底臂大致具有第一移动范围;以及第二自动机械,所述第二自动机械大致位于所述传送模块内用于将工件传送到所述处理模块、所述缓冲工位以及所述物理接口并从所述处理模块、所述缓冲工位以及所述物理接口传送工件,所述第二自动机械包括第二顶臂和第二底臂,所述第二顶臂和第二底臂大致具有第二移动范围,所述第二移动范围与所述第一移动范围部分地重叠。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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