[实用新型]一种新型封装固体高纯金属有机化合物的容器

摘要

本实用新型涉及封装固体高纯金属有机化合物的容器，包括筒体、上盖、进气管和出气管，在筒体中设置一竖立的隔板，隔板将筒体的内腔分成左腔和右腔，并在筒体的下部设置一网孔板，网孔板将左腔分成左上腔和左下腔，网孔板将右腔分成右上腔和右下腔，并在左下腔与右上腔之间设置一连接管，连接管将右上腔与左下腔相连通；进气管从上盖插入并与左上腔相连通，出气管从上盖插入并穿过右上腔与右下腔相连通；在上盖上开有两加料口，一加料口与左上腔相通，另一加料口与右上腔相通。该封装容器用于MOCVD时，腔体盛装固体源，容器的有效体积可得到充分利用，载气在容器内部经过的路程延长到原来的四倍以上，气体与固体源的接触几率大为增加。

主权项

一种新型封装固体高纯金属有机化合物的容器，包括筒体(6)、上盖(5)、进气管(4)和出气管(9)，所述上盖(5)盖于筒体(6)上，其特征在于：在所述筒体(6)中设置一竖立的隔板(10)，所述隔板(10)将筒体(6)的内腔分成左腔和右腔，并在筒体(6)的下部设置一网孔板(8)，所述网孔板(8)将左腔分成左上腔和左下腔，所述网孔板(8)将右腔分成右上腔和右下腔，并在所述左下腔与右上腔之间设置一连接管(7)，所述连接管(7)将右上腔与左下腔相连通；另外，所述进气管(4)从上盖(5)插入并与左上腔相连通，所述出气管(9)从上盖(5)插入并穿过右上腔与右下腔相连通；在所述上盖(5)上开有两加料口，一加料口与左上腔相通，另一加料口与右上腔相通。