[实用新型]一种光刻胶烘焙装置

摘要

本实用新型提供一种光刻胶烘焙装置，包括外壳、热板、控制系统、风扇，所述热板、控制系统及风扇设置于所述外壳内，所述控制系统控制所述热板的加热温度，所述风扇设置于所述热板的上方，还包括挡风盖板，所述挡风盖板设置于所述风扇与所述热板之间，所述档风盖板上设置多个通风孔洞。本实用新型的光刻胶烘焙装置通过增加挡风盖板，降低了烘焙装置内风扇吹出的气流对进行曝光后烘焙的掩模板的光刻胶图形的不利影响，提高了显影后整个光刻胶图形关键尺寸的均匀性，使光刻胶图形的质量得到很好的改善。本实用新型增加的挡风盖板易于制作，成本较低，取得的有益效果显著。

主权项

一种光刻胶烘焙装置，包括外壳、热板、控制系统、风扇，所述热板、控制系统及风扇设置于所述外壳内，所述控制系统控制所述热板的加热温度，所述风扇设置于所述热板的上方，其特征在于，还包括挡风盖板，所述挡风盖板设置于所述风扇与所述热板之间，所述档风盖板上设置多个通风孔洞。