[实用新型]一种光刻胶烘焙装置有效
| 申请号： | 200920208083.8 | 申请日： | 2009-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN201489273U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 巫轶骏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 烘焙 装置 | ||
1.一种光刻胶烘焙装置，包括外壳、热板、控制系统、风扇，所述热板、控制系统及风扇设置于所述外壳内，所述控制系统控制所述热板的加热温度，所述风扇设置于所述热板的上方，其特征在于，还包括挡风盖板，所述挡风盖板设置于所述风扇与所述热板之间，所述档风盖板上设置多个通风孔洞。
2.如权利要求1所述的光刻胶烘焙装置，其特征在于，所述热板及其控制系统均为一个。
3.如权利要求2所述的光刻胶烘焙装置，其特征在于，所述档风盖板的形状依据所述外壳的形状设置。
4.如权利要求2所述的光刻胶烘焙装置，其特征在于，所述挡风盖板通过螺丝固定于所述外壳上。
5.如权利要求1所述的光刻胶烘焙装置，其特征在于，所述热板及其控制系统为多个，每个所述热板之间通过挡板隔开，每个所述热板之上设置一个所述挡风盖板。
6.如权利要求5所述的光刻胶烘焙装置，其特征在于，所述档风盖板的形状依据所述热板四周的挡板的形状设置。
7.如权利要求5所述的光刻胶烘焙装置，其特征在于，所述挡风盖板通过螺丝固定于所述热板四周的挡板上。
8.如权利要求1至7中任一权利要求所述的光刻胶烘焙装置，其特征在于，所述挡风盖板的材质为聚氯乙烯材质。
9.如权利要求1至7中任一权利要求所述的光刻胶烘焙装置，其特征在于，所述热板包括上热板和下热板。
10.如权利要求5所述的光刻胶烘焙装置，其特征在于，所述挡板为聚氯乙烯材质。
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