[发明专利]基板检查方法、基板检查装置和存储介质

摘要

本发明提供基板检查方法、基板检查装置和存储介质。本发明的基板检查方法能够高精度地进行基板的检查。利用摄像照相机对包含三维的世界坐标系的坐标为已知的基准点的夹具进行摄像，取得由摄像元件的像素组指定的图像坐标系上的上述基准点的坐标。然后，将该基准点的坐标向在摄像照相机设定的照相机坐标系的坐标变换，通过计算求出世界坐标系和照相机坐标系的变换参数。然后，使用该变换参数，将对被检查基板进行摄像得到的像素坐标系上的图像数据向世界坐标系上的图像数据变换而进行检查。该世界坐标系的被检查基板的图像，由于能够被抑制由摄像单元的位置和姿势引起的歪斜，所以能够提高被检查基板的检查精度。

主权项

一种基板检查方法，其使用检查装置进行检查，该检查装置包括：使用摄像元件的摄像照相机、和载置通过该摄像照相机被摄像的被检查基板的载置台，该基板检查方法的特征在于，包括：将包含三维世界坐标系中的坐标为已知的基准点的夹具载置在所述载置台上并通过所述摄像照相机进行摄像，取得通过在摄像元件中被配置为矩阵状的像素组指定的图像坐标系上的所述基准点的坐标的工序；基于像素的纵、横的尺寸，将所述图像坐标系上的所述基准点的坐标，变换成作为由所述摄像照相机所摄像的画面上的坐标系的图像平面坐标系的坐标的工序；利用包含摄像照相机的光学系统的参数的机器参数对所述图像平面坐标系上的所述基准点的坐标进行修正，将该坐标变换成作为在摄像照相机中设定的三维坐标系的照相机坐标系的坐标的工序；通过所述一系列的工序，至少取得6点所述照相机坐标系上的所述基准点的坐标，基于这些基准点的各个的坐标、世界坐标系上的各基准点的坐标、和照相机坐标系与世界坐标系之间的变换式，通过计算求出由相对世界坐标系的照相机坐标系的X方向、Y方向、Z方向的各个偏离量和绕X轴的旋转角、绕Y轴的旋转角以及绕Z轴的旋转角构成的两坐标系的变换参数的工序；用所述摄像照相机对载置在所述载置台上的被检查基板进行摄像，取得所述图像坐标系上的图像数据的工序；基于像素的纵、横的尺寸，将在该工序中取得的所述图像坐标系上的图像数据变换成所述图像平面坐标系上的图像数据，进而基于所述机器参数，将该图像数据变换为所述照相机坐标系上的图像数据，进一步使用所述照相机坐标系和世界坐标系之间的变换式以及已经取得的所述变换参数，将该图像数据变换为世界坐标系上的图像数据的工序；和基于在该工序中得到的世界坐标系上的图像数据进行被检查基板的检查的工序。