[发明专利]一种射频传输中实现阻抗匹配的方法和一种阻抗匹配装置有效
| 申请号： | 200910243877.2 | 申请日： | 2009-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN101754570A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 张文雯 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100016 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种射频传输中实现阻抗匹配的方法，包括：校准步骤，根据阻抗检测结果对传感器进行校准，确定优化的矩阵参数；检测步骤，针对当前负载，采用传感器采集电压和电流信息，依据优化的矩阵参数计算获得负载阻抗的模值和相位；调整步骤，调整匹配网络中的可变元件，实现阻抗匹配。由于本发明能够通过精确度高的阻抗测量工具对传感器进行校准，即通过阻抗测量工具测量的阻抗|Z|∠θ和传感器的输出信号An×1，对鉴幅和鉴相算法中的参数进行优化，从而可以降低模拟电路易受温度、功率等因素的影响，即提高了传感器的测量精度，保证了阻抗匹配的速度和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 传输 实现 阻抗匹配 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种射频传输中实现阻抗匹配的方法，其特征在于，包括：校准步骤，根据阻抗检测结果对传感器进行校准，确定优化的矩阵参数；检测步骤，针对当前负载，采用传感器采集电压和电流信息，依据优化的矩阵参数计算获得负载阻抗的模值和相位；调整步骤，调整匹配网络中的可变元件，实现阻抗匹配。
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