[发明专利]一种射频传输中实现阻抗匹配的方法和一种阻抗匹配装置

权利要求书

1.一种射频传输中实现阻抗匹配的方法，其特征在于，包括：

校准步骤，根据负载阻抗检测结果对传感器进行校准，确定优化的矩阵 参数；

检测步骤，针对当前负载，采用传感器采集射频传输线的电压和电流信 息，依据优化的矩阵参数计算获得负载阻抗的模值和相位；

调整步骤，调整匹配网络中的可变元件，实现阻抗匹配。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述校准步骤包括：

测量负载阻抗的模值和相位；

采用传感器采集射频传输线的电压和电流信息，依据预设的矩阵参数计 算获得负载阻抗的模值和相位；

将测量获得的负载阻抗的模值及相位与计算获得的负载阻抗的模值及 相位进行比较，确定优化的矩阵参数。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，在校准步骤中，

针对多个负载阻抗，分别测量和计算获得负载阻抗的模值和相位；

依据多个负载阻抗的模值及相位的比较情况，确定优化的矩阵参数。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过以下方式比较确定矩阵 参数：

选择在矩阵参数理论值上下浮动范围内，“测量值”和“计算值”距离 最近的矩阵参数为优化的矩阵参数；

其中，“测量值”为采用阻抗测量工具测量获得的负载阻抗的模值、相 位，“计算值”为通过传感器采集信号后，依据预设的矩阵参数计算获得的 负载阻抗的模值、相位。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述优化的矩阵参数包括模值优化的矩阵参数和相位优化的矩阵参数。

6.一种阻抗匹配装置，其特征在于，包括：

传感器，针对当前负载，采集射频传输线的电压和电流信息；以及依据 优化的矩阵参数计算获得负载阻抗的模值和相位；所述传感器通过匹配网络 与负载相连；

控制器，用于依据所计算获得的负载阻抗的模值和相位，调整匹配网络 中的可变元件，实现阻抗匹配。

校准器，用于根据负载阻抗检测结果对传感器进行校准得到优化的矩阵 参数。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于：

所述校准器，还用于比较“测量值”和“计算值”，确定优化的矩阵参 数；其中，所述“测量值”为采用阻抗测量工具测量获得的负载阻抗的模值、 相位，“计算值”为通过传感器采集信号后，依据预设的矩阵参数计算获得 的负载阻抗的模值、相位。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，

所述校准器的输入包括针对多个负载阻抗的“测量值”和“计算值”。

9.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述校准器通过以下方式比 较确定优化的矩阵参数：

选择在矩阵参数理论值上下浮动范围内，“测量值”和“计算值”距离 最近的矩阵参数为优化的矩阵参数。

10.如权利要求6所述的装置，其特征在于，

所述校准器所确定的优化的矩阵参数包括模值优化的矩阵参数和相位 优化的矩阵参数。