[发明专利]一种电容式微机械音叉陀螺仪

摘要

本发明提供了一种电容式微机械音叉陀螺仪，所述陀螺仪为对称的双质量结构陀螺仪，包括：衬底，设置于衬底中央的框架，框架的中部设置有垂直于框架的框架梁；框架内部以框架梁为对称轴，对称设置两个检测质量块，每个检测质量块的四角分别通过至少四个驱动梁与框架及框架梁连接；每个检测质量块在垂直轴方向的两端分别设置有解耦驱动梳齿电容；框架的水平轴方向的两外侧对称设置有检测梳齿电容；框架的垂直轴方向的两外侧设置有至少四个检测梁，检测梁相对于框架的水平轴、垂直轴对称分布，并通过相应锚点固定于衬底上。本发明的电容式水平轴微机械音叉陀螺仪，能够简单而有效地解决微机械音叉陀螺仪检测模态和驱动模态之间的机械耦合。

主权项

一种电容式微机械音叉陀螺仪，其特征在于，所述陀螺仪为对称的双质量结构陀螺仪，包括：衬底，设置于所述衬底中央的框架，所述框架的中部设置有框架梁，所述框架梁垂直于所述框架；所述框架内部以所述框架梁为对称轴，对称设置两个检测质量块，每个检测质量块的四角分别通过至少四个驱动梁与所述框架及框架梁连接；所述每个检测质量块在垂直轴方向的两端分别设置有驱动梳齿电容；所述驱动梳齿电容包括可动驱动梳齿电极和固定驱动梳齿电极，所述可动驱动梳齿电极与所述检测质量块连接，所述固定驱动梳齿电极通过相应锚点固定于所述衬底上；所述可动驱动梳齿电极和固定驱动梳齿电极交叠成解耦驱动梳齿电容；所述框架的水平轴方向的两外侧对称设置有检测梳齿电容，所述检测梳齿电容包括可动检测梳齿电极和固定检测梳齿电极，所述可动检测梳齿电极与所述框架相连，所述固定检测梳齿电极通过相应锚点固定于所述衬底上；所述框架的垂直轴方向的两外侧设置有至少四个检测梁，所述检测梁相对于所述框架的水平轴、垂直轴对称分布，并通过相应锚点固定于所述衬底上。