[发明专利]一种卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置

摘要

一种卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置，其特征是它包括：卷出辊(2)、卷绕辊(11)、加热腔(15)、垂直传送导轨(3)、与水平传送导轨(20)相连的设置在真空室(22)中的用于将经过沉积后的柔性基体材料送入卷绕辊(11)中的导轨(16)、分别安装在真空室(1)、真空室(22)和加热室(15)中的用于使柔性基体材料在传送过程中保持张力的张紧轮组(4，6，13)以及安装在真空室(22)中用于使进入卷绕辊(11)上的经过沉积后的柔性基体材料快速冷却的冷却辊(12)。本发明大大提高了柔性基体在真空腔室中的运输效率，此外也方便对于基体在高温下表面张力进行精确控制，大大减少由于柔性基体在高温下由于热收缩而引起的表面不平整现象。

主权项

1、一种卷对卷等离子体增强化学气相沉积装置，其特征是它包括：一卷出辊(2)，该卷出辊(2)上卷绕有等解卷的带状柔性基体材料，所述的卷出辊(2)安装在真空室(1)中；一卷绕辊(11)，该卷绕辊(11)将前述卷出辊(2)解开的柔性基体材料按照卷对卷方式进行重新卷绕成卷，所述的卷绕辊(11)安装在真空室(22)中；一加热腔(15)，该加热腔(15)的一端与真空室(1)相连，另一端与沉积腔(10)相连，沉积腔(10)的一端与真空腔(22)相连，加热腔(15)中安装有加热装置(5)，沉积腔(10)中安装有等离子增强化学气相沉积装置(14)；一垂直传送导轨(3)，它位于真空室(1)中，卷出辊(2)上的柔性基体材料垂直拉出后进入与之相连的水平传送导轨(20)，水平传送导轨(20)贯穿真空室(1)和真空室(22)之间的加热腔(15)和沉积腔(10)；一与水平传送导轨(20)相连的设置在真空室(22)中的用于将经过沉积后的柔性基体材料送入卷绕辊(11)中的导轨(16)；一分别安装在真空室(1)、真空室(22)和加热室(15)中的用于使柔性基体材料在传送过程中保持张力的张紧轮组(4，6，13)；一安装在真空室(22)中用于使进入卷绕辊(11)上的经过沉积后的柔性基体材料快速冷却的冷却辊(12)。