[发明专利]对准装置

摘要

本发明提供一种可以将装置全体小型轻量化，并可以降低对工件进行位置对准的负荷，还可以降低耗电量的对准装置。对准装置30具有互相分开的4个对准载台31，并以设于各自对应的1个对准载台31上的4个对准工作台AT支撑面板。使位于4处的对准工作台AT通过联结杆40a、40b、41a、41b连动，将由对准工作台AT支撑的面板对应于位置偏差进行左旋转移动、右旋转移动、右侧平行移动、左侧平行移动、后侧平行移动、或者前侧平行移动，以使面板相对于遮光罩的位置偏差变为零。

主权项

1、一种对准装置，其放置在基座的上面，将工件向一个方向及与所述一个方向相垂直的其他方向移动，并将其水平旋转，以进行所述工件的位置对准，其特征在于具备：2个第1移动块，其分别以可沿所述一个方向往返移动的形式设在，定位于所述基座的上面的、形成正四方形或者长方形的4个顶点中处在一方的对角线上的一对顶点位置；2个第2移动块，其分别以可沿所述其他方向往返移动的形式设在，所述4个顶点中处在另一方的对角线上的一对顶点位置；2个第1驱动部，其分别使所述第1移动块中与其对应的1个沿所述一个方向往返移动；2个第2驱动部，其分别使所述第2移动块中与其对应的1个沿所述其他方向往返移动；2个第1旋转工作台，其分别以可水平旋转地被支撑的同时还可沿所述其他方向往返移动的形式设在所述对应的第1移动块的上面；2个第2旋转工作台，其分别以可水平旋转地被支撑的同时还可沿所述一个方向往返移动的形式设在所述对应的第2移动块的上面；2个第1联结部件，其在所述一个方向上联结所述2个第1旋转工作台和所述2个第2旋转工作台；2个第2联结部件，其在所述其他方向上联结所述2个第1旋转工作台和所述2个第2旋转工作台；4个对准工作台，其合作支撑所述工件，并分别设在所述第1旋转工作台及所述第2旋转工作台中与其对应的一个上。