[发明专利]叠层式压电元件及其制造方法有效
申请号: | 200910161284.1 | 申请日: | 2009-07-28 |
公开(公告)号: | CN101969097A | 公开(公告)日: | 2011-02-09 |
发明(设计)人: | 陈文志;蔡宗甫;傅焕钧 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;H01L41/047;H01L27/20;H01L41/22;H01L21/77 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种叠层式压电元件,包括多层压电材料层、多层导电层、一第一导通孔和一第二导通孔、以及多个绝缘部。压电材料层间隔设置于导电层之间。第一、二导通孔分别贯穿所述压电材料层和所述导电层,其中第一、第二导通孔内填充有一导电材料。绝缘部则一一对应地形成于导电层处,且相邻的两绝缘部分别位于第一、第二导通孔的外缘,使所在的导电层和导通孔内的导电材料电性隔绝。 | ||
搜索关键词: | 叠层式 压电 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种压电单元结构,包括:一压电材料层,具有一上表面和一下表面;一第一导电层和一第二导电层,分别位于该压电材料层的该上下表面;一第一导通孔,贯穿该压电材料层;一第二导通孔,贯穿该压电材料层;至少一绝缘部,形成于该第一、第二导电层其中之一层处,并围绕该第一、第二导通孔其中之一,以隔绝该导通孔和所在的该导电层。
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