[发明专利]叠层式压电元件及其制造方法

权利要求书

1.一种压电单元结构，包括：

一压电材料层，具有一上表面和一下表面；

一第一导电层和一第二导电层，分别位于该压电材料层的该上下表面；

一第一导通孔，贯穿该压电材料层；

一第二导通孔，贯穿该压电材料层；

至少一绝缘部，形成于该第一、第二导电层其中之一层处，并围绕该第一、第二导通孔其中之一，以隔绝该导通孔和所在的该导电层。

2.如权利要求1所述的压电单元结构，其中该第一导通孔贯穿该第一导电层、该压电材料层和该第二导电层的一侧，而该第二导通孔贯穿该第一导电层、该压电材料层和该第二导电层的另一侧。

3.如权利要求2所述的压电单元结构，其中该第一、第二导通孔分别垂直于该第一导电层、该压电材料层和该第二导电层。

4.如权利要求2所述的压电单元结构，包括另一绝缘部，且该两绝缘部分别形成于该压电材料层的该上下表面的该第一、第二导电层，且该两绝缘部分别围绕所在的该导电层的该第一、第二导通孔的外缘。

5.如权利要求2所述的压电单元结构，其中该第一、第二导通孔内填充有一导电材料。

6.如权利要求5所述的压电单元结构，还包括：一绝缘侧壁，与该绝缘部连接，并位于该压电材料层和该导电材料之间，以电性隔绝该压电材料层和位于该导通孔内的该导电材料。

7.如权利要求5所述的压电单元结构，包括：

一第一绝缘部，形成于该第一导电层，且围绕于该第一导通孔的外缘，以隔绝该第一导电层和该第一导通孔内的该导电材料；和

一第二绝缘部，形成于该第二导电层，且围绕于该第二导通孔的外缘，以隔绝该第二导电层和该第二导通孔内的该导电材料。

8.如权利要求7所述的压电单元结构，还包括：

一第一绝缘侧壁，与该第一绝缘部连接，且电性隔绝于该第一导通孔内的该导电材料和该压电材料层之间；和

一第二绝缘侧壁，与该第二绝缘部连接，且电性隔绝于该第二导通孔内的该导电材料和该压电材料层之间。

9.如权利要求8所述的压电单元结构，其中该第一绝缘侧壁的底部与该压电材料层的该下表面齐平，该第二绝缘侧壁的底部与该压电材料层的该上表面齐平。

10.一种多层叠层式压电元件，包括：

多个压电单元叠层而成，且每一压电单元包括：

一压电材料层，具有一上表面和一下表面；

一第一导电层和一第二导电层，分别位于该压电材料层的该上下表面；

一第一导通孔和一第二导通孔，分别贯穿该第一导电层、该压电材料层和该第二导电层的两侧，其中该第一、第二导通孔内填充有一导电材料；和

一第一绝缘部和一第二绝缘部，分别形成于该压电材料层的该上下表面的该第一、第二导电层上，并位于所在的该第一、第二导通孔的外缘，以隔绝所在的该导电层和该导通孔内的该导电材料；

在该多层叠层式压电元件中，每一压电单元的该第一、第二绝缘部其中之一是与相邻的另一压电单元的该第一、第二绝缘部其中之一相互对应和接触。

11.如权利要求10所述的多层叠层式压电元件，其中每一压电单元还包括：

一第一绝缘侧壁，与该第一绝缘部连接，且电性隔绝于该第一导通孔内的该导电材料和该压电材料层之间；和

一第二绝缘侧壁，与该第二绝缘部连接，且电性隔绝于该第二导通孔内的该导电材料和该压电材料层之间。

12.如权利要求10所述的多层叠层式压电元件，其中每一压电单元中，该第一绝缘侧壁的底部与该压电材料层的该下表面齐平，该第二绝缘侧壁的底部与该压电材料层的该上表面齐平。

13.如权利要求10所述的多层叠层式压电元件，其中该导电材料为一导电胶体。

14.如权利要求10所述的多层叠层式压电元件，其中该导电胶体为银胶。

15.如权利要求10所述的多层叠层式压电元件，其中该第一、第二绝缘部的材料包括环氧树脂。