[发明专利]传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 200910159751.7 | 申请日： | 2009-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101624168A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 相田和彦;桥本克美;森俊章 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01P15/09 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 何欣亭;徐予红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的传感器具备：框部；从该框部向内侧方向突出的多个梁部；通过梁来支撑重锤部；配置在梁部的压电电阻元件；以及被覆压电电阻元件的绝缘层，其中，压电电阻元件具有1个以上的折叠部，在位于该折叠部的绝缘层上配置金属布线，将该金属布线经由形成在绝缘层的2个以上的接触孔连接到折叠部，在位于压电电阻元件的两端部的绝缘层设置接触孔，使电桥电路布线经由该接触孔连接到压电电阻元件。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种传感器，具备：框部；多个梁部，从该框部向内侧方向突出；重锤部，通过该梁来支撑；压电电阻元件，配置在所述梁部；以及绝缘层，被覆该压电电阻元件，其特征在于：所述压电电阻元件具有1个以上的折叠部，在位于该折叠部的所述绝缘层上配置金属布线，该金属布线经由形成在所述绝缘层的2个以上的接触孔连接到折叠部，在位于所述压电电阻元件的两端部的所述绝缘层中形成接触孔，电桥电路布线经由该接触孔连接到压电电阻元件。
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