[发明专利]传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种传感器，具备：框部；多个梁部，从该框部向内侧方向 突出；重锤部，通过该梁部来支撑；压阻电阻元件，配置在所述梁部； 以及绝缘层，被覆该压阻电阻元件，其特征在于：所述压阻电阻元件 具有1个以上的折叠部，在位于该折叠部的所述绝缘层上配置金属布 线，以能够抑制所述压阻电阻元件在所述折叠部上发生的焦耳热，并 且能够对被所述绝缘层被覆的所述压阻电阻元件中发生的焦耳热有 效地进行散热，该金属布线经由形成在所述绝缘层的2个以上的接触 孔连接到折叠部，在位于所述压阻电阻元件的两端部的所述绝缘层中 形成接触孔，电桥电路布线经由该接触孔连接到压阻电阻元件，在所 述接触孔正下方的压阻电阻元件配置扩散电阻层。

2.如权利要求1所述的传感器，其中，具备保护膜，该保护膜 覆盖所述电桥电路布线并使所述金属布线及所述电桥电路布线的端 子露出。

3.一种传感器的制造方法，所述传感器具备：框部；从该框部 向内侧方向突出的多个梁部；通过该梁部支撑的重锤部；配置在所述 梁部的压阻电阻元件；以及被覆该压阻电阻元件的绝缘层，其特征在 于，所述传感器的制造方法包括以下工序：

扩散杂质而形成具有1个以上的折叠部的压阻电阻元件的第一工 序；

将绝缘层形成为被覆压阻电阻元件，在压阻电阻元件的折叠部和 两端部设置接触孔后，以该绝缘层为掩模，对接触孔中露出的压阻电 阻元件以高浓度扩散杂质，形成扩散电阻层的第二工序；以及

在位于折叠部的所述绝缘层上形成经由所述接触孔与压阻电阻 元件连接的金属布线，以能够抑制所述压阻电阻元件在所述折叠部上 发生的焦耳热，并且能够对被所述绝缘层被覆的所述压阻电阻元件中 发生的焦耳热有效地进行散热，同时形成电桥电路布线，以经由位于 压阻电阻元件的两端部的所述接触孔连接到压阻电阻元件的第三工 序。