[发明专利]制备CIS薄膜及器件的非真空液相化学法合成方法有效
申请号: | 200910152060.4 | 申请日: | 2009-07-28 |
公开(公告)号: | CN101694854A | 公开(公告)日: | 2010-04-14 |
发明(设计)人: | 朱长飞;罗派峰;杨文兵;江国顺 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人: | 张磊 |
地址: | 230026*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提出一种制备铜铟硒CIS薄膜的非真空液相化学法合成方法,包括以下步骤:制备前驱体料浆;利用所述前驱体料浆制备预制膜;硒化所述预制膜,得到黄铜矿结构的CIS薄膜。并且,利用本发明制备出的所述CIS薄膜成功制备出了电池器件。通过本发明可大面积均匀成膜,生产成本低,制程简单,易于大规模工业化生产,对CIS薄膜太阳能电池的发展具有重要推动作用。 | ||
搜索关键词: | 制备 cis 薄膜 器件 真空 化学 合成 方法 | ||
【主权项】:
一种制备铜铟硒CIS薄膜的非真空液相化学法合成方法,其特征在于,包括以下步骤:制备前驱体料浆;利用所述前驱体料浆制备预制膜;硒化所述预制膜,得到黄铜矿结构的CIS薄膜。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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