[发明专利]制备CIS薄膜及器件的非真空液相化学法合成方法有效

专利信息
申请号: 200910152060.4 申请日: 2009-07-28
公开(公告)号: CN101694854A 公开(公告)日: 2010-04-14
发明(设计)人: 朱长飞;罗派峰;杨文兵;江国顺 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 北京市立方律师事务所 11330 代理人: 张磊
地址: 230026*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提出一种制备铜铟硒CIS薄膜的非真空液相化学法合成方法,包括以下步骤:制备前驱体料浆;利用所述前驱体料浆制备预制膜;硒化所述预制膜,得到黄铜矿结构的CIS薄膜。并且,利用本发明制备出的所述CIS薄膜成功制备出了电池器件。通过本发明可大面积均匀成膜,生产成本低,制程简单,易于大规模工业化生产,对CIS薄膜太阳能电池的发展具有重要推动作用。
搜索关键词: 制备 cis 薄膜 器件 真空 化学 合成 方法
【主权项】:
一种制备铜铟硒CIS薄膜的非真空液相化学法合成方法,其特征在于,包括以下步骤:制备前驱体料浆;利用所述前驱体料浆制备预制膜;硒化所述预制膜,得到黄铜矿结构的CIS薄膜。
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