[发明专利]薄膜晶体管数组基板有效
申请号: | 200910132644.5 | 申请日: | 2009-03-30 |
公开(公告)号: | CN101515590A | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 曾庆安;侯鸿龙;李佳育;陈介伟;朱公勍;黄彦衡;陈宗凯;林以尊;邱骏仁 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L23/528;H01L29/786;H01L29/423 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁 挥;祁建国 |
地址: | 台湾*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种薄膜晶体管数组基板,其利用堆栈结构垫高薄膜晶体管的汲极的延伸电极,因此通孔不需要太深即可暴露出汲极的延伸电极。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 数组 | ||
【主权项】:
1、一种薄膜晶体管数组基板,其特征在于,包含:一基材;一第一图案化导电层位于该基材上,其中该第一图案化导电层包含一扫描线、一闸极及一浮置电极,其中该闸极电性连接该扫描线;一第一绝缘层位于该第一图案化导电层上;一半导体层,位于该第一绝缘层上,其中该半导体层包含一通道区;一第二图案化导电层位于该第一绝缘层上,其中该第二图案化导电层包含一源极、一汲极、和扫描线交错的数据线及一汲极的延伸电极,且该闸极、该源极、该汲极及该通道区构成一薄膜晶体管,其中该源极电性连接该数据线且该汲极的延伸电极部分和该浮置电极重迭;一第二绝缘层位于该第二图案化导电层上;一通孔,贯穿该第二绝缘层,并暴露出部分该汲极的延伸电极;以及一像素电极,通过该通孔,电性连接该汲极的延伸电极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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