[发明专利]碳纳米管复合热界面材料的制备方法在审
| 申请号： | 200910127345.2 | 申请日： | 2009-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101572255A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | 廖运鑫;姚湲;张长生;白先声;姜开利;刘长洪 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/373 | 分类号： | H01L23/373 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北京市海淀区清华园1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种碳纳米管复合热界面材料的制备方法，其包括以下步骤：提供一碳纳米管阵列形成于一基底；将低熔点金属通过一输送装置置于所述碳纳米管阵列上方；以及加热所述低熔点金属及碳纳米管阵列，使所述低熔点金属熔化后与所述碳纳米管阵列复合，从而得到碳纳米管复合热界面材料。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 复合 界面 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种碳纳米管复合热界面材料的制备方法，其包括以下步骤：提供一碳纳米管阵列形成于一基底；将低熔点金属通过一输送装置置于所述碳纳米管阵列上方；以及加热所述低熔点金属及碳纳米管阵列，使所述低熔点金属熔化后与所述碳纳米管阵列复合，从而得到碳纳米管复合热界面材料。
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