[发明专利]TFT-LCD阵列基板及其制造方法

摘要

本发明涉及一种TFT-LCD阵列基板及其制造方法。阵列基板包括栅线和数据线，栅线和数据线限定的像素区域内形成有像素电极和薄膜晶体管，像素区域内还设置有形成双层结构的栅线和/或数据线的连接电极。制造方法包括：形成包括栅线、数据线、有源层、源电极和漏电极的图形，栅线和/或数据线为双层结构；沉积钝化层，形成包括钝化层过孔的图形，钝化层过孔位于所述漏电极的所在位置；沉积透明导电薄膜，形成包括像素电极的图形，像素电极通过所述钝化层过孔与漏电极连接。本发明有效减少了栅线断线不良和数据线断线不良，大幅度提高了产品质量和成品率，同时提高了单位面积存储电容的大小，有利于提高TFT-LCD的开口率和显示亮度。

主权项

一种TFT-LCD阵列基板，包括栅线和数据线，所述栅线和数据线限定的像素区域内形成有像素电极和薄膜晶体管，其特征在于，所述像素区域内还设置有形成双层结构的栅线和/或数据线的连接电极。