[发明专利]用于半导体光放大器的宽增益谱量子点材料结构无效
申请号: | 200910081987.3 | 申请日: | 2009-04-15 |
公开(公告)号: | CN101867155A | 公开(公告)日: | 2010-10-20 |
发明(设计)人: | 刘王来;叶小玲;徐波;王占国 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/30 | 分类号: | H01S5/30 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于半导体光放大器的宽增益谱量子点材料结构,包括:一N型砷化镓衬底;一N型砷化镓缓冲层,生长在N型砷化镓衬底上,用于隔离衬底上的缺陷;一N型铝镓砷光学下限制层,生长在N型砷化镓缓冲层上,用于光学模式和载流子的限制;一多层不同周期的自组织量子点有源层,生长在N型铝镓砷光学下限制层上;一P型铝镓砷光学上限制层,生长在该量子点有源层上,用于光学模式和载流子的限制;以及一P型砷化镓帽层,生长在该P型铝镓砷光学上限制层上,用于电极接触。该结构利用多层不同尺寸设计的量子点的非均匀展宽特性,获得宽的增益谱。 | ||
搜索关键词: | 用于 半导体 放大器 增益 量子 材料 结构 | ||
【主权项】:
一种用于半导体光放大器的宽增益谱量子点材料结构,其特征在于,该结构利用多层不同尺寸设计的量子点的非均匀展宽特性,获得宽的增益谱,包括:一N型砷化镓衬底;一N型砷化镓缓冲层,生长在N型砷化镓衬底上,用于隔离衬底上的缺陷;一N型铝镓砷光学下限制层,生长在N型砷化镓缓冲层上,用于光学模式和载流子的限制;一多层不同周期的自组织量子点有源层,生长在N型铝镓砷光学下限制层上;一P型铝镓砷光学上限制层,生长在该量子点有源层上,用于光学模式和载流子的限制;以及一P型砷化镓帽层,生长在该P型铝镓砷光学上限制层上,用于电极接触。
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