[发明专利]用于半导体光放大器的宽增益谱量子点材料结构无效

专利信息
申请号: 200910081987.3 申请日: 2009-04-15
公开(公告)号: CN101867155A 公开(公告)日: 2010-10-20
发明(设计)人: 刘王来;叶小玲;徐波;王占国 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01S5/30 分类号: H01S5/30
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种用于半导体光放大器的宽增益谱量子点材料结构,包括:一N型砷化镓衬底;一N型砷化镓缓冲层,生长在N型砷化镓衬底上,用于隔离衬底上的缺陷;一N型铝镓砷光学下限制层,生长在N型砷化镓缓冲层上,用于光学模式和载流子的限制;一多层不同周期的自组织量子点有源层,生长在N型铝镓砷光学下限制层上;一P型铝镓砷光学上限制层,生长在该量子点有源层上,用于光学模式和载流子的限制;以及一P型砷化镓帽层,生长在该P型铝镓砷光学上限制层上,用于电极接触。该结构利用多层不同尺寸设计的量子点的非均匀展宽特性,获得宽的增益谱。
搜索关键词: 用于 半导体 放大器 增益 量子 材料 结构
【主权项】:
一种用于半导体光放大器的宽增益谱量子点材料结构,其特征在于,该结构利用多层不同尺寸设计的量子点的非均匀展宽特性,获得宽的增益谱,包括:一N型砷化镓衬底;一N型砷化镓缓冲层,生长在N型砷化镓衬底上,用于隔离衬底上的缺陷;一N型铝镓砷光学下限制层,生长在N型砷化镓缓冲层上,用于光学模式和载流子的限制;一多层不同周期的自组织量子点有源层,生长在N型铝镓砷光学下限制层上;一P型铝镓砷光学上限制层,生长在该量子点有源层上,用于光学模式和载流子的限制;以及一P型砷化镓帽层,生长在该P型铝镓砷光学上限制层上,用于电极接触。
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