[发明专利]光学波导及其制作方法与微光学陀螺无效
| 申请号： | 200910077174.7 | 申请日： | 2009-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN101477225A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 周震;于怀勇;冯丽爽;洪灵菲;王潇;张春熹 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/13;G02B6/138;G01C19/64 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光学波导及其制作方法与微光学陀螺。属光学测速领域。其中，光学波导采用硅衬底，在硅片上设有多层螺旋形波导，多层螺旋形波导中的各层螺旋形波导之间设有隔离层，相邻两层螺旋形波导的连接端通过设在两层螺旋形波导之间隔离层内的垂直波导连接，多层螺旋形波导依次连接后形成整体的螺旋形波导。该光学波导谐振腔能增加光在其内多次传播的等效长度，可用于干涉式与谐振式微光学陀螺中，在干涉式微光学陀螺中，该光学波导作为其角度敏感环，多层螺旋形波导的结构有效增加光路传播长度，提高陀螺检测精度。在谐振式微光学陀螺中，该光学波导与外部耦合器耦合连接作为光学谐振腔，有效增强Sagnac效应，使微光学陀螺测角速度更准确。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 波导 及其 制作方法 微光 陀螺 | ||
【主权项】：
1、一种光学波导，其特征在于，该光学波导采用硅衬底，在所述硅片上设有多层螺旋形波导，多层螺旋形波导中的各层螺旋形波导之间设有隔离层，相邻两层螺旋形波导的连接端通过设在两层螺旋形波导之间隔离层内的垂直波导连接，多层螺旋形波导依次连接后形成整体的螺旋形波导。
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