[发明专利]微加速度与微角速率集成传感器制造方法有效
| 申请号： | 200910073948.9 | 申请日： | 2009-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN101509933A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 吕树海;杨拥军;徐淑静;徐爱东;张旭辉 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03;G01P3/26;B81C1/00;B81C3/00;B81C5/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 050051河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微加速度与微角速率集成传感器制造方法，采用气体(如氩气、氮气、二氧化碳等气体)作为感知元件，在一个衬底上制备微加速度传感器需要的温度传感器和加热器，该温度传感器和加热器悬空在衬底腔体中，在另一个衬底上制备微角速率传感器需要的温度传感器，该温度传感器悬空在衬底腔体中；采用键合工艺(如金硅键合工艺)将两衬底键合成一体，再经划片、管芯分离、装架、键合引线、封装即可。本发明方法采用气体作为感知元件代替固体活动质量块，将加速度传感器和角速率传感器集成在同一个结构内，加工工艺简单、成本低，测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 速率 集成 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种微加速度与微角速率集成传感器制造方法，其特征在于制造方法包括以下步骤：采用气体作为感知元件，在一个衬底上制备微加速度传感器需要的温度传感器和加热器，该温度传感器和加热器悬空在衬底腔体中，在另一个衬底上制备微角速率传感器需要的温度传感器，该温度传感器悬空在衬底腔体中；采用键合工艺将两衬底键合成一体，再经划片、管芯分离、装架、键合引线、封装即可。
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