[发明专利]具凹穴结构的封装基板及其制作方法有效

专利信息
申请号: 200910007058.8 申请日: 2009-02-09
公开(公告)号: CN101800184A 公开(公告)日: 2010-08-11
发明(设计)人: 陈国庆;陈宗源;简证滨 申请(专利权)人: 欣兴电子股份有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L21/50;H01L21/768;H01L23/498
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陶凤波
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种具凹穴结构的封装基板及其制作方法。该封装基板的制作方法包含有:提供包层板,其包含第一金属层、第二金属层及中间层,中间层介于第一金属层及第二金属层之间;蚀刻部分的第一金属层,暴露出部分的中间层并形成金属块体;将包层板与第一铜箔基板压合,第一铜箔基板包含第一绝缘层以及第一铜箔层;线路图案化第一铜箔层,形成第一图案化线路;线路图案化第二金属层,形成第二图案化线路;移除掉金属块体,形成凹穴结构;以及去除位于凹穴结构内的中间层。
搜索关键词: 具凹穴 结构 封装 及其 制作方法
【主权项】:
一种封装基板的制作方法,包含有:提供包层板,包含第一金属层、第二金属层及中间层,该中间层介于该第一金属层及该第二金属层之间;蚀刻部分的该第一金属层,暴露出部分的该中间层并形成金属块体;将该包层板与第一铜箔基板压合,该第一铜箔基板包含第一绝缘层以及第一铜箔层;线路图案化该第一铜箔层,形成第一图案化线路;线路图案化该第二金属层,形成第二图案化线路;移除掉该金属块体,形成凹穴结构;以及去除位于该凹穴结构内的该中间层。
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