[发明专利]具凹穴结构的封装基板及其制作方法有效
申请号: | 200910007058.8 | 申请日: | 2009-02-09 |
公开(公告)号: | CN101800184A | 公开(公告)日: | 2010-08-11 |
发明(设计)人: | 陈国庆;陈宗源;简证滨 | 申请(专利权)人: | 欣兴电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/50;H01L21/768;H01L23/498 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种具凹穴结构的封装基板及其制作方法。该封装基板的制作方法包含有:提供包层板,其包含第一金属层、第二金属层及中间层,中间层介于第一金属层及第二金属层之间;蚀刻部分的第一金属层,暴露出部分的中间层并形成金属块体;将包层板与第一铜箔基板压合,第一铜箔基板包含第一绝缘层以及第一铜箔层;线路图案化第一铜箔层,形成第一图案化线路;线路图案化第二金属层,形成第二图案化线路;移除掉金属块体,形成凹穴结构;以及去除位于凹穴结构内的中间层。 | ||
搜索关键词: | 具凹穴 结构 封装 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种封装基板的制作方法,包含有:提供包层板,包含第一金属层、第二金属层及中间层,该中间层介于该第一金属层及该第二金属层之间;蚀刻部分的该第一金属层,暴露出部分的该中间层并形成金属块体;将该包层板与第一铜箔基板压合,该第一铜箔基板包含第一绝缘层以及第一铜箔层;线路图案化该第一铜箔层,形成第一图案化线路;线路图案化该第二金属层,形成第二图案化线路;移除掉该金属块体,形成凹穴结构;以及去除位于该凹穴结构内的该中间层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欣兴电子股份有限公司,未经欣兴电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200910007058.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种双级轴流风机
- 下一篇:汽油机曲轴正时齿轮安装角度检具
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造