[发明专利]用于对物体进行微机械定位和操纵的装置及方法无效
| 申请号： | 200880003396.8 | 申请日： | 2008-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN101601099A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 伊沃·W·兰杰罗;斯特凡·克勒特;艾莎德·古利耶夫;茨韦坦·伊瓦诺夫;博克哈德·福兰德 | 申请（专利权）人： | 伊尔梅瑙工业大学 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;H01L41/09 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 车 文;张建涛 |
| 地址： | 德国伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于对物体进行微机械定位和操纵的装置和方法。本发明的任务是：提供一种用于对物体进行微机械定位和操纵的装置和所附属的方法，凭借所述装置和方法可以提高扫描速度和改善定位精确度，从而可以实现具有纳米范围内的横向和垂直分辨率的实时成像或视频码率成像(约25幅/秒)。根据本发明地，优选由硅制成的、整体的结构件包括支撑元件(101)、载物台(116)、多个引导元件(102-107)以及用于传递运动的元件(108-111)以及优选为压敏电阻式的驱动元件(112-115)和优选为压敏电阻式的位置探测器(121-128)集成在该结构件中。这样的微机械定位装置例如应用于扫描探针显微镜以及用在纳米定位和纳米操纵中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 物体 进行 微机 定位 操纵 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.用于对物体进行微机械定位和操纵的装置，包括：-至少一个支撑元件(101)，-载物台(116)，-引导元件(102-107)，-驱动元件(112-115)，-用于将驱动元件的运动传递到所述载物台的元件(108-111)，以及-位置探测器(121-128)，其中，用于传递运动的所述元件(108-111)与相应的所述驱动元件(112-115)之间的接触部位呈弧形、球形或尖端形地构成，其特征在于，所述支撑元件(101)、所述载物台(116)、所述引导元件(102-107)及所述用于传递运动的元件(108-111)是优选由硅制成的整体的结构件。
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