[实用新型]一种气浮式反应腔有效
| 申请号： | 200820212007.X | 申请日： | 2008-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN201236208Y | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 林琳 | 申请（专利权）人： | 清溢精密光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/48 | 分类号： | C23C16/48;B01J19/12 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于化学反应的密闭空腔装置技术领域，提供了一种气浮式反应腔，包括一安装基座，所述安装基座上开设有倒锥形凹槽，所述倒锥形凹槽在安装基座下表面形成一反应源气环形集中喷覆口，其特征在于：所述安装基座上还开设有预压真空抽气口、静压空气轴承进气口，所述安装基座下表面对应开设有与所述预压真空抽气口贯通的预压真空节流口和与所述静压空气轴承进气口贯通的静压空气轴承节流喷嘴。与现有技术中的反应腔相比，本实用新型不需要增大反应腔的体积就可以修补大尺寸工件，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气浮式 反应 | ||
【主权项】：
1、一种气浮式反应腔，包括一安装基座，所述安装基座上开设有倒锥形凹槽，所述倒锥形凹槽在安装基座下表面形成一反应源气环形集中喷覆口，其特征在于：所述安装基座上还开设有预压真空抽气口、静压空气轴承进气口，所述安装基座下表面对应开设有与所述预压真空抽气口贯通的预压真空节流口和与所述静压空气轴承进气口贯通的静压空气轴承节流喷嘴。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
