[实用新型]多晶硅晶棒的制造装置有效

专利信息
申请号: 200820180533.2 申请日: 2008-12-03
公开(公告)号: CN201343583Y 公开(公告)日: 2009-11-11
发明(设计)人: 蓝崇文;徐文庆;谢兆坤;王兴邦;何思桦 申请(专利权)人: 昆山中辰矽晶有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B28/10
代理公司: 北京申翔知识产权代理有限公司 代理人: 周春发
地址: 215316江苏省昆*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型多晶硅晶棒的制造装置,其至少包含有:石英坩埚,该石英坩埚中容置有硅融浆;加热器,该加热器设于该石英坩埚的外围;旋转提拉件,该旋转提拉件设于该石英坩埚上方;多晶形式的硅晶种,该多晶形式的硅晶种浸入石英坩埚的硅融浆当中,以析出多晶硅的结晶,并且结晶逐渐被析的过程中,该旋转提拉件以既定的速度将硅晶种上拉,使硅晶种的下端结晶依序以晶冠以及晶体构成的多晶硅晶棒,利用上述装置可以长成可供制作太阳能晶片原料的多晶硅晶棒。
搜索关键词: 多晶 硅晶棒 制造 装置
【主权项】:
1、一种多晶硅晶棒的制造装置,其特征在于,其至少包含有:石英坩锅,该石英坩锅中容置有硅融浆;加热器,该加热器设于该石英坩锅的外围;旋转提拉件,该旋转提拉件设于该石英坩锅上方;多晶形式的硅晶种,该多晶形式的硅晶种浸入石英坩锅的硅融浆当中。
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