[实用新型]用于晶圆处理机台的倍速入料装置及晶圆处理机台

摘要

本实用新型涉及一种入料装置，提供了一种用于晶圆处理机台的倍速入料装置和晶圆处理机台，其中该机台具有复数汲取位置及位于其上的待处理晶圆，利用入料装置同步汲取及释放待处理晶圆至该输送装置，且该入料装置包含复数承载器及一组对应输送装置的汲取组件。本实用新型提供的晶圆处理机台进行晶圆检测时，能减少晶圆搬移次数，让处理机台运送及测试晶圆的效率提高。

主权项

1、一种用于晶圆处理机台的倍速入料装置，该机台包括供该入料装置设置并形成有复数汲取位置的基座、一组承接该入料装置输送的待处理晶圆的输送装置、及一组承接该输送装置输送的待处理晶圆的处理装置，其特征在于，该入料装置包括：复数分别对应置放于该汲取位置、并分别可承载多片待处理晶圆的承载器；及与汲取器分别对应、并在该汲取器分别对应于汲取位置而同步汲取待处理晶圆的位置和该汲取器分别对应于该输送装置而同步释放待处理晶圆至该输送装置的位置之间移动的复数个汲取组件。