[实用新型]用于晶圆处理机台的倍速入料装置及晶圆处理机台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种入料装置，尤其涉及用于一种晶圆处理机台的倍速入料装置及晶圆处理机台。

背景技术

太阳能具有取之不竭、绿色环保、实用性高等特性，在原油价格不断升高的当今，替代性能源需求加剧，无污染的太阳能更是替代性能源的首选。在太阳能利用中，负责吸收、撷取太阳光、并转换为电能输出的太阳能晶圆更成为不可或缺的角色；因此，太阳能晶圆的制造及相关测试、分类、包装、输送的效率提高都是业界努力追求的目标。

申请人于2008年4月23日向中国知识产权局提出发明专利申请中(其名称为太阳能硅芯片检测机台和检测方法，申请号为200810043280.9)，披露了一种晶圆处理机台，其结构图如图1所示，其中，晶圆处理机台6主要用于光学判读，检测太阳能晶圆9是否有刮痕、水痕、白点、断线、脏污及对位偏移等状况。该晶圆处理机台6包含有基座60、入料装置70、输送装置30和处理装置31；该入料装置70所包含的汲取组件72更包括一组可枢转之枢轴以及复数设置于枢轴的汲取器724，且如图1所示，四个汲取器724彼此以直角相间隔，随枢轴沿一个循环转动而汲取置于承载器71中的晶圆9，随后释放于输送装置30以供处理装置31进行检测动作，并且设置两个可相对滑动的承载器71，保持其中一组承载器71在对应汲取器724的汲取位置，而另一个则可供填入新料。

此种入料装置70虽然能顺利提供晶圆9供应后续处理，却因该汲取组件72的汲取器724结构限制，相对于枢轴呈十字分布而占据可利用空间，并且因汲取晶圆9后，枢轴转速受限而无法进一步提升处理效率。

因此，需要提供一种更适合太阳能晶圆处理机台的入料装置，该入料装置与输送装置的配置方式最佳化，可使太阳能晶圆高速循序接受检测，或者根据机台使用者要求，利用些微空间增加多组入料装置，以此大幅增加机台入料速度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆处理机台的倍速入料装置及晶圆处理机台，旨在解决现有技术中存在的晶圆处理机台输料速度不快的问题。

本实用新型是这样实现的，一种用于晶圆处理机台的倍速入料装置，该机台包括供该入料装置设置并形成有复数汲取位置的基座、一组承接该入料装置输送的待处理晶圆的输送装置、及一组承接该输送装置输送的待处理晶圆的处理装置，该入料装置包括：

复数分别对应置放于该汲取位置、并分别可承载多片待处理晶圆的承载器；及

与汲取器分别对应、并在该汲取器分别对应于汲取位置而同步汲取待处理晶圆的位置和该汲取器分别对应于该输送装置而同步释放待处理晶圆至该输送装置的位置之间移动的复数个汲取组件。

该承载器分别对称设置于该输送装置两侧的汲取位置，且该汲取组件包括分别对应该输送装置两侧汲取位置的两组半组件。

该输送装置两侧的承载器分别为两个，且该两组半组件同步移动且分别具有两个汲取器。

本实用新型还提供了一种具有倍速入料装置的晶圆处理机台，包括：

一个形成有复数汲取位置的基座；

一组输送装置；

一组设置于该基座的倍速入料装置，包括：

复数分别对应置放于该汲取位置、并分别可承载多片待处理晶圆的承载器；及

与汲取器分别对应、并在该汲取器分别对应于汲取位置而同步汲取待处理晶圆的位置和该汲取器分别对应于该输送装置而同步释放待处理晶圆至该输送装置的位置之间移动的复数个汲取组件；

一组承接该输送装置输送的待处理晶圆的处理装置。

其中，所述的晶圆处理机台还包括对应该等汲取位置设置、于该汲取器汲取承载于该承载器的待处理晶圆时鼓风以分离迭置晶圆的复数吹嘴。

其中，该承载器分别对称设置于该输送装置两侧的汲取位置，且该汲取组件包括分别对应该输送装置两侧汲取位置的两组半组件。

其中，该输送装置两侧的承载器分别为两个，且该两组半组件同步移动且分别具有两个汲取器。

其中，所述的晶圆处理机台还包括与该倍速入料装置串接设置于该处理装置上游的第二组倍速入料装置。

本实用新型克服现有技术的不足，提供的用于晶圆处理机台的倍速入料装置及晶圆处理机台，可同步批次提供复数太阳能晶圆，使得太阳能晶圆由承载器置入输送装置及接受处理的效率，都可随之倍增；同时还使得受测太阳能晶圆的搬移路程缩短，提升了晶圆处理机台的处理速度；此外，本实用新型提供晶圆处理机台可以额外配置多组倍速入料装置而倍增处理速度。

附图说明

图1为现有的晶圆处理机台的立体示意图；