[实用新型]一种可降低成本的溅射镀膜设备

摘要

本实用新型提供了一种可降低成本的溅射镀膜设备。现有技术中溅射镀膜设备在镀膜时除工件上的镀膜外其它区域的镀膜都被浪费且无法回收利用，增加了其成本。本实用新型的可降低成本的溅射镀膜设备具有一镀膜腔，该镀膜腔中具有第一、第二工件台、靶极和直流电源，该第一工件台与该直流电源的阳极或地电性连接，该靶极与该直流电源的阴极电性连接，该第二工件台正面具有用于夹持工件的夹持缝，当其设置并电性连接在该第一工件台上且其正面正对靶极时，镀膜工件设置在夹持缝中进行镀膜，当其设置并电性连接在靶极上且其正面正对第一工件台时，镀膜工件设置在该第一工件台上进行镀膜。本实用新型可回收利用镀膜，并可大大降低溅射镀膜设备的成本。

主权项

1、一种可降低成本的溅射镀膜设备，用于对工件进行镀膜，该溅射镀膜设备具有一镀膜腔，该镀膜腔中具有用于置放工件的第一工件台、用于设置靶材的靶极和至少一直流电源，该第一工件台与该直流电源的阳极或地电性连接，该靶极与该直流电源的阴极电性连接，其特征在于，该溅射镀膜设备还具有一第二工件台，该第二工件台正面具有用于夹持工件的夹持缝，该第二工件台设置并电性连接在该第一工件台上且其正面正对靶极时，工件设置在该夹持缝中进行镀膜，该第二工件台设置并电性连接在靶极上且其正面正对第一工件台时，工件设置在该第一工件台上进行镀膜。