[实用新型]一种可降低成本的溅射镀膜设备

权利要求书

1、一种可降低成本的溅射镀膜设备，用于对工件进行镀膜，该溅射镀膜设备具有一镀膜腔，该镀膜腔中具有用于置放工件的第一工件台、用于设置靶材的靶极和至少一直流电源，该第一工件台与该直流电源的阳极或地电性连接，该靶极与该直流电源的阴极电性连接，其特征在于，该溅射镀膜设备还具有一第二工件台，该第二工件台正面具有用于夹持工件的夹持缝，该第二工件台设置并电性连接在该第一工件台上且其正面正对靶极时，工件设置在该夹持缝中进行镀膜，该第二工件台设置并电性连接在靶极上且其正面正对第一工件台时，工件设置在该第一工件台上进行镀膜。

2、如权利要求1所述的可降低成本的溅射镀膜设备，其特征在于，该第二工件台具有中心连接件、分别连接在该中心连接件两侧的第一侧连件和第二侧连件，该中心连接件两侧靠近背面的区域对称设置有多个水平螺柱，该第一和第二侧连件分别对应中心连接件每侧的水平螺柱开设有相同数量个通孔。

3、如权利要求2所述的可降低成本的溅射镀膜设备，其特征在于，该中心连接件两侧的水平螺柱分别穿过其对应的通孔后，通过配套的螺母与该水平螺柱旋合而将第一和第二侧连件固定在该中心连接件两侧。

4、如权利要求1所述的可降低成本的溅射镀膜设备，其特征在于，该工件为需进行扫描电子显微镜检测的样品。

5、如权利要求4所述的可降低成本的溅射镀膜设备，其特征在于，该第二工件台上具有两夹持缝，其分别为45度夹持缝和90度夹持缝，该45度夹持缝由中心连接件和第一侧连件靠近正面的相对面组成，该90度夹持缝由中心连接件和第二侧连件靠近正面的相对面组成。

6、如权利要求1所述的可降低成本的溅射镀膜设备，其特征在于，该溅射镀膜设备为磁控溅射镀膜机。