[实用新型]砷化镓单晶制备设备无效
| 申请号： | 200820037767.1 | 申请日： | 2008-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN201236221Y | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 袁长胜 | 申请（专利权）人： | 袁长胜 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙） | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 225009江苏省扬州市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种砷化镓单晶制备设备，包括炉壳、四区热场控制器、行走装置、传动装置、碳化硅导热装置、导轨装置、升降装置、支座、电控装置，传动装置与行走装置之间的连接为软连接，导轨为滚柱直线导轨。本实用新型同现有技术相比，减少了在较长时间极慢速情况下行车容易产生爬行、抖动的现象，运行更平稳，从而避免撞坏炉体，从而使设备更合理，有效提高的了砷化镓单晶的出品率。 | ||
| 搜索关键词： | 砷化镓单晶 制备 设备 | ||
【主权项】：
1、一种砷化镓单晶制备设备，包括四区热场控制器(2)、行走装置(3)、传动装置(4)、导轨装置，其特征在于：传动装置(4)与行走装置(3)之间的连接为软连接。
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