[实用新型]一种基于MEMS传感器的V锥流量测量装置无效

专利信息
申请号: 200820015114.3 申请日: 2008-08-12
公开(公告)号: CN201262560Y 公开(公告)日: 2009-06-24
发明(设计)人: 张洪朋;曹淑华;张世锋;顾长智;梅涛;陈海泉;孙玉清 申请(专利权)人: 大连海事大学
主分类号: G01F1/34 分类号: G01F1/34
代理公司: 大连八方知识产权代理有限公司 代理人: 卫茂才
地址: 11602*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型涉及一种流量测量装置,尤其是基于MEMS传感器的V锥流量测量装置。该装置由法兰、测量管、支撑架、MEMS敏感芯体、封装结构、正取压口、负取压口、V型锥体组件及信号线构成。该装置将MEMS敏感芯体置于V型锥体内部,取压口也位于测量管内,取消了传统V锥流量计需要引压到管外的结构。根据流量-差压数学关系模型和现场实际标定,实现对流量的动态和稳态测量。本实用新型解决了传统V锥流量计动态特性差,误差大,损耗高等问题。同时,为V锥流量计实现标准化创造了必要条件,有利于V锥流量计的推广应用。
搜索关键词: 一种 基于 mems 传感器 流量 测量 装置
【主权项】:
1、一种基于MEMS传感器的V锥流量测量装置,其特征在于,该装置由法兰(1)、测量管(2)、支撑架(3)、V型锥体组件(6)、负取压口(7)、正取压口(9)及传感器部分的MEMS敏感芯体(4)、封装结构(5)、信号线(8)构成;V型锥体组件(6)通过支撑架(3)同轴固定在测量管(2)内部;MEMS敏感芯体(4)被封装在封装结构(5)中,置于V型锥体组件(6)内部或嵌在V型锥体组件(6)直管壁或锥面壁中,并保持密封;正取压口(9)与负取压口(7)均设在V型锥体组件(6)上,位于测量管(2)内部;MEMS敏感芯体(4)的两个取压管分别通过正取压口(9)与负取压口(7)接触高压和低压流体;信号线(8)与MEMS敏感芯体(4)连接后引出测量管(2)。
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