[实用新型]一种基于MEMS传感器的V锥流量测量装置无效
| 申请号： | 200820015114.3 | 申请日： | 2008-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN201262560Y | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 张洪朋;曹淑华;张世锋;顾长智;梅涛;陈海泉;孙玉清 | 申请（专利权）人： | 大连海事大学 |
| 主分类号： | G01F1/34 | 分类号： | G01F1/34 |
| 代理公司： | 大连八方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 卫茂才 |
| 地址： | 11602*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 传感器 流量 测量 装置 | ||
1、一种基于MEMS传感器的V锥流量测量装置，其特征在于，该装置由法兰(1)、测量管(2)、支撑架(3)、V型锥体组件(6)、负取压口(7)、正取压口(9)及传感器部分的MEMS敏感芯体(4)、封装结构(5)、信号线(8)构成；V型锥体组件(6)通过支撑架(3)同轴固定在测量管(2)内部；MEMS敏感芯体(4)被封装在封装结构(5)中，置于V型锥体组件(6)内部或嵌在V型锥体组件(6)直管壁或锥面壁中，并保持密封；正取压口(9)与负取压口(7)均设在V型锥体组件(6)上，位于测量管(2)内部；MEMS敏感芯体(4)的两个取压管分别通过正取压口(9)与负取压口(7)接触高压和低压流体；信号线(8)与MEMS敏感芯体(4)连接后引出测量管(2)。
2、根据权利要求1所述的一种基于MEMS传感器的V锥流量测量装置，其特征在于，所述的MEMS敏感芯体(4)为硅微压阻式、压电式或电容式微型压力/压差敏感芯体。
3、根据权利要求1所述的一种基于MEMS传感器的V锥流量测量装置，其特征在于，所述的V型锥体组件(6)的前端与支撑架(3)一端固定连接，支撑架(3)另一端固定在测量管(2)内壁上。
4、根据权利要求1所述的一种基于MEMS传感器的V锥流量测量装置，其特征在于，所述的封装结构(5)上侧固定在V型锥体组件内壁上，下侧与V型锥体组件(6)上的正取压口(9)相通测取高压，右侧与负取压口(7)相通测取低压，左侧与信号线(8)连接。
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