[发明专利]X射线衍射装置以及X射线衍射方法有效
| 申请号： | 200810179920.9 | 申请日： | 2008-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN101403713A | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | 虎谷秀穗 | 申请（专利权）人： | 株式会社理学 |
| 主分类号： | G01N23/207 | 分类号： | G01N23/207 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种采用平行射束法的X射线衍射方法，将平行射束X射线(24)照射至样品(26)，从该样品(26)产生的衍射X射线(28)通过反射镜(18)反射后由X射线检测器(20)进行检测。该反射镜(18)的反射面(19)的形状为在样品(26)表面上具有中心的等角螺旋。有助于反射的晶体晶格面在反射面(19)上任意位点处均平行于反射面(19)。X射线检测器(20)是在平行于衍射平面的平面内的1维位置感应型设备。而且，按照来自反射镜(18)的反射面(19)上多个不同位点的反射X射线(40)分别到达上述X射线检测器(20)的多个不同位点的方式，确定反射镜(18)和X射线检测器(20)之间的相对位置关系。该X射线衍射方法的角度分辨率高，使得X射线强度的降低得以减少，并且其构造也得到了简化。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 衍射 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1、一种X射线衍射装置，将平行射束X射线(24)照射到样品(26)，且将来自该样品(26)的衍射X射线(28)介由利用衍射现象的反射镜(18)反射后由X射线检测器(20)进行检测，该X射线衍射装置的特征在于：上述反射镜(18)的反射面(19)，按照在平行于衍射平面的平面内上述反射面(19)上任意位点处的反射面(19)的切线(38)与该任意地点和样品(26)之间的连线(36)所成的角度为一定的方式形成，而且有助于反射的晶体晶格面在反射面(19)上任意位点处均平行于反射面(19)；上述X射线检测器(20)是在平行于衍射平面的平面内的1维位置感应型设备；按照在平行于衍射平面的平面内，来自上述反射镜(18)的反射面(19)上多个不同位点的反射X射线(40)分别到达上述X射线检测器(20)的多个不同位点的方式，确定上述反射镜(18)和上述X射线检测器(20)之间的相对位置关系。
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