[发明专利]X射线衍射装置以及X射线衍射方法

权利要求书

1.一种X射线衍射装置，将平行射束X射线(24)照射到样品(26)，且 将来自该样品(26)的衍射X射线(28)介由利用衍射现象的反射镜(18)反 射后由X射线检测器(20)进行检测，该X射线衍射装置的特征在于：

上述反射镜(18)的反射面(19)，按照在平行于衍射平面的平面内上述反 射面(19)上任意位点处的反射面(19)的切线(38)与该任意地点和样品(26) 之间的连线(36)所成的角度为一定的方式形成，而且有助于反射的晶体晶格 面在反射面(19)上任意位点处均平行于反射面(19)；

上述X射线检测器(20)是在平行于衍射平面的平面内的1维位置感应型 设备；

按照在平行于衍射平面的平面内，具有不同衍射角度的上述衍射X射线 (28)到达上述反射镜(18)的反射面(19)上的不同的位点，且来自上述反射 镜(18)的反射面(19)上多个不同位点的反射X射线(40)分别到达上述X 射线检测器(20)的多个不同位点的方式，确定上述反射镜(18)和上述X射 线检测器(20)之间的相对位置关系。

2.根据权利要求1所述的X射线衍射装置，其特征在于：上述反射镜(18) 的反射面(19)为等角螺旋形状，该等角螺旋形状在平行于衍射平面的平面内 在上述样品(26)的表面上具有中心。

3.一种X射线衍射方法，将平行射束所构成的X射线(24)照射到样品 (26)上，且将来自该样品(26)的衍射X射线(28)介由利用衍射现象的反射 镜(18)反射后由X射线检测器(20)进行检测，该X射线衍射方法的特征在 于：

上述反射镜(18)的反射面(19)，按照在平行于衍射平面的平面内上述反 射面(19)上任意位点处的反射面(19)的切线(38)与该任意位点和样品(26) 之间的连线(36)所成的角度为一定的方式形成，而且有助于反射的晶体晶格 面在反射面(19)上任意位点处均平行于反射面(19)；

上述X射线检测器(29)是在平行于衍射平面的平面内的1维位置感应型 设备；

按照在平行于衍射平面的平面内，具有不同衍射角度的上述衍射X射线 (28)到达上述反射镜(18)的反射面(19)上的不同的位点，且来自上述反射 镜(18)的反射面(19)上多个不同位点的反射X射线(40)分别到达上述X 射线检测器(20)的多个不同地点的方式，确定上述反射镜(18)和上述X射 线检测器(20)之间的相对位置关系；

具有不同衍射角度的多个上述衍射X射线(28)通过上述反射镜(18)而 由上述X射线检测器(20)分别且同时地进行检测。

4.根据权利要求3所述的X射线衍射方法，其特征在于：上述镜(18)的 反射面(19)为等角螺旋形状，该等角螺旋形状在平行于衍射平面的平面内在 上述样品(26)表面上具有中心。

5.一种X射线衍射装置，将平行射束X射线(24)照射到样品(26)上， 且将来自该样品(26)的衍射X射线(56)介由利用衍射现象的反射镜(60) 反射后由X射线检测器(20)进行检测，该X射线衍射装置的特征在于：

上述反射镜(60)的反射面通过多个平坦反射面(62)的组合而成，在平 行于衍射平面的平面内，各个平坦反射面(62)中心点和样品(26)连线与该 平坦反射面(62)所成的角度对于所有平坦反射面(62)而言是一定的，而且 在各个平坦反射面(62)中有助于反射的晶体晶格面均平行于该平坦反射面 (62)；

上述X射线检测器(20)是在平行于衍射平面的平面内的1维位置感应型 设备；

按照在平行于衍射平面的平面内，具有不同衍射角度的上述衍射X射线 (56)到达不同的上述平坦反射面(62)，且由不同的上述平坦反射面(62)所 反射的反射X射线分别到达上述X射线检测器(20)的多个不同位点的方式， 确定上述多个平坦反射面(62)和上述X射线检测器(20)之间的相对位置关 系。

6.根据权利要求5所述的X射线衍射装置，其特征在于：上述多个平坦反 射面的(62)的中心点位于在平行于衍射平面的平面内在所述样品(26)的表 面上具有中心的等角螺旋上。