[发明专利]半导体器件

摘要

扩大互连的工艺裕度，以最小化在扫描型曝光设备的扫描移动期间产生的振动的影响。在半导体器件中，在包括最窄的互连或互连之间最窄的间隔的互连层中，以相同的取向布置处理大量的数据的互连，即经常使用的互连，使得互连的纵向对准扫描型曝光设备的扫描方向。因而，用图形的纵向对准振动方向能够最小化由振动引起的位置偏差。

主权项

1.一种半导体器件，包括：两个或更多逻辑模块，在这些逻辑模块中有规律地排列由P-MOS晶体管和N-MOS晶体管对构成的多个基本胞元，使得所述基本胞元在各逻辑模块中具有一致的尺寸；其中，在连接至少一个所述逻辑模块中的所述基本胞元的所述多个互连层中，第一互连层包括最窄互连或互连之间的最窄间隔，并且其中，在所述基本胞元的胞元高度短于经由绝缘层提供在所述第一互连层上的第二互连层中的电源线之间的间隔的所述逻辑模块中，在所述第一互连层中的所述经常使用的互连的纵向垂直于胞元高度方向。