[发明专利]一种角振动硅微陀螺及其制作方法

摘要

一种角振动硅微陀螺及其制作方法，它包括通过键合连接的第一基板和第二基板，所述第二基板上中心处设有呈“十”字形的主悬挂梁，主悬挂梁的两侧分别通过“T”形梁组件与质量块相连，每个“T”形梁组件的两端分别对称布置有一个质量块；所述第一基板上开设有凹槽，凹槽内与每个质量块对应的位置处设有一组电极组件。该制作方法主要采用湿法腐蚀工艺制作，制作工艺简单而且成熟，不需要复杂昂贵的深反应离子刻蚀设备，能够保证较低的成本和较高的成品率。因此，本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、制作工艺简单、具有较高品质因子的角振动硅微陀螺及其制作方法。

主权项

1.一种角振动硅微陀螺，其特征在于：它包括通过键合连接的第一基板(1)和第二基板(13)，所述第二基板(13)上中心处设有呈“十“字形的主悬挂梁(8)，主悬挂梁(8)的两侧分别通过“T”形梁组件与质量块(11)相连，每个“T”形梁组件的两端分别对称布置有一个质量块(11)；所述第一基板(1)上开设有凹槽(2)，凹槽(2)内与每个质量块(11)对应的位置处设有一组电极组件。