[发明专利]复合式气体流量测量方法及其装置有效

专利信息
申请号: 200810120056.5 申请日: 2008-07-17
公开(公告)号: CN101354273A 公开(公告)日: 2009-01-28
发明(设计)人: 韩怀成;毛巨林 申请(专利权)人: 美新半导体(无锡)有限公司
主分类号: G01F7/00 分类号: G01F7/00
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 代理人: 尉伟敏
地址: 214028江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种复合式气体流量测量方法及其装置,在带温度传感器与压力传感器的机械式气体流量测量装置上并接旁路管,旁路管上设有MEMS流量传感器,温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器均连接数据处理系统,数据处理系统连接数据显示系统,温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的所测数据经过数据处理系统处理后通过数据显示系统显示出气体流量数据。它有效地解决目前气体流量测量装置存在的量程比窄,适用范围小以及测量精度低、可靠性差的问题,本发明结构简单、成本低,值得相关行业推广使用。
搜索关键词: 复合 气体 流量 测量方法 及其 装置
【主权项】:
1.一种复合式气体流量测量方法,其特征是:在带温度传感器与压力传感器的机械式气体流量测量装置上并接旁路管,旁路管上设有MEMS流量传感器,温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器均连接数据处理系统,数据处理系统连接数据显示系统,温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的所测数据经过数据处理系统处理后通过数据显示系统显示出气体流量数据。
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  • 一种多量程的热式气体流量传感器-202210534963.4
  • 于虹;李肖婷;张文青 - 东南大学
  • 2022-05-17 - 2022-08-02 - G01F7/00
  • 本发明公开了一种多量程的热式气体流量传感器结构的设计以及信号处理方法。包括带背部刻蚀空腔的单晶硅衬底、悬浮支撑膜、中心加热器、上游测量热敏元件组、下游测量热敏元件组和信号处理电路。上游测量热敏元件组和下游测量热敏元件组对称的放置在中心加热器两端,上游测量热敏元件包括上游第一测量元件和上游第二测量元件,下游测量热敏元件包括下游第一测量元件和下游第二测量元件,中心加热器和所有测量元件的热端放置在的悬浮支撑膜之上,测量元件的冷端放在悬浮支撑膜之外。本发明通过在单晶硅衬底上制备不同长度的测量元件,形成具有多量程检测功能的流量传感器,并且进一步的搭配外围控制电路,完成单芯片量程的切换。
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