[发明专利]接触洞布局结构有效
| 申请号： | 200810108799.0 | 申请日： | 2008-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN101599478A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 王文洁 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L27/11 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种接触洞布局结构，包含有一定义有至少一第一区域的基底，以及多组沿一预定方向设置于该第一区域内的第一接触洞布局。各该组第一接触洞布局分别包含有二个正方形接触洞单元，以及设置于该二个正方形接触洞单元之间的二个相邻长方形接触洞单元。该接触洞布局结构还包含有多个设置于该第一区域内的第二接触洞布局。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 布局 结构 | ||
【主权项】：
1.一种接触洞布局结构，包含有：一基底，该基底上定义有至少一第一区域；多组第一接触洞布局，沿一预定方向设置于该第一区域内，且各该组第一接触洞布局分别包含有：二个正方形接触洞单元；以及二个相邻的长方形接触洞单元，设置于该二个正方形接触洞单元之间；以及多个第二接触洞布局，设置于该第一区域内。
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